Spezifikation | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (Luftlagerschiene) |
Motorentyp | Dreiphasiger eisenloser Motor | Schwingspulenmotor+ |
Auflösung | Standardmäßig 100 nm digitale Menge | 1vpp bis 5nm |
Motorschub | Kontinuierlich 60 N/Spitze 210 N | Kontinuierlich 60 N/Spitze 210 N |
Mindestschrittgröße[nm] | 200 nm | 100 nm |
Federweg [mm] | 200×200 | 10 |
Wiederholbarkeit [um] | ±0,3 | |
Positionsgenauigkeit [um] | ±1 | ±0,5 |
Ebenheit [um] | 10um | 5um |
Geradheit [um] | 1 um | 1 um |
Maximale Geschwindigkeit [mm/s] | 500 mm/s | 30 mm/s |
Tragfähigkeit [kg] | 5 kg (Z-Achse mit pneumatischem Ausgleichsgewicht mit konstanter Kraft) |