Die E-UMS130-X-Serie verfügt über eine hochpräzise Kreuzrollenführungsschiene mit Kriechschutzfunktion, arbeitet mit einem Linearmotor und einer hochauflösenden Gitterskala zusammen und bietet die Vorteile einer geringen Größe, einer großen Last und eines geringen Geräuschpegels.Die Kriechschutz-Kreuzrollenführung eignet sich besonders für Anwendungen, bei denen feinstufiges Fahren erforderlich ist.
Das Hochleistungs-Antriebssteuerungssystem kann bei einer Schrittgröße von 10 nm stabil aussteigen, was eine wichtige Leistung darstellt, die für gewöhnliche Linearmotorplattformen mit linearer Führungsschiene nur schwer zu garantieren ist.Daher eignet sich die UMS130-X-Serie besonders für hochpräzise Positionierungs-, Detektions-, Belichtungs- und Mikroverarbeitungsanwendungsszenarien.
● Berührungsloser Direktantriebsmotor, ultrahohe Präzision und hervorragende dynamische Leistung;
● Eisenloser Motor, die Geschwindigkeitsschwankung beträgt weniger als ein Tausendstel (in Kombination mit dem angegebenen Antriebstyp, Testdaten der Laborumgebung);
● Leise und kriechsichere Führungsschienen zur Gewährleistung der Mikroschrittkontrolle;
● Lange Lebensdauer, wartungsfreier Einsatz über einen langen Zeitraum;
Zur Auswahl stehen kostengünstige Inkremental-Encoder, Inkremental-Encoder der Messtechnikklasse und absolut messende Encoder (keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich).Da die lineare Position des Tisches direkt an der beweglichen Plattform gegenüber der stationären Basis gemessen wird, ohne Kontakt (direkte Messtechnik), haben Spiel, mechanisches Spiel oder Verformung im Antriebsstrang, wie sie bei Kombinationen aus Motor und Leitspindel üblich sind, keinen Einfluss auf die Positionsgenauigkeit .
Bei Kreuzrollenführungen wird die Punktberührung der Kugeln in Kugelführungen durch eine Linienberührung der gehärteten Rollen ersetzt.Dadurch sind sie deutlich steifer und benötigen weniger Vorspannung, was die Reibung verringert und einen ruhigeren Lauf ermöglicht.Kreuzrollenführungen zeichnen sich zudem durch eine hohe Führungsgenauigkeit und Belastbarkeit aus.Zwangsgeführte Wälzkörperkäfige verhindern ein Käfigwandern.
Es sind 2-Achsen- und 3-Achsen-Tischkombinationen möglich.XY-Tische können durch Stapeln von zwei einachsigen Tischen aufgebaut werden, während eine kundenspezifische Z-Achse mit Gewichtskraftkompensation für Kombinationen von XYZ-Translationstischen verwendet werden kann.Eine weitere Z-Achsen-Option ist der sehr kompakte vertikale Lineartisch UMS130-X mit vom Benutzer einstellbarem integriertem magnetischen Gegengewicht.
Industrie und Forschung.Metrologie.Photonik und Präzisionsscannen bei der Herstellung von Halbleitern oder Flachbildschirmen.
Spezifikation | UMS130-60X | -110X | -160X |
Motorentyp | Dreiphasiger eisenloser Motor | ||
Encodertyp | Inkrementalgeber 0,1 um (optional bis 1 nm Encoder, absolut optional) | ||
Motorschub | Bewertet für 40 N, Spitzenlast 90 N | ||
Beschleunigung (ohne Last) | 3G | 2,5G | 2G |
Art der Positionsbegrenzung | Mechanisch, fotoelektrisch, Software (dreifacher Grenzschutz) | ||
Material | Aluminiumlegierung 6061-T6 (optional Edelstahl) | ||
Verfahrbereich mm | 60 | 110 | 160 |
Genauigkeit ähm | ±3 um (Kalibrierung ±0,5 um) | ||
Wiederholgenauigkeit um | ±0,1 um (±50 nm entspricht einem Gitter über 5 nm) | ||
Maximale Geschwindigkeit mm/s | 300 mm/s | ||
Maximale Tragfähigkeit kg | 6 | 8 | 12 |
1) Was ist das MOQ?
A: MOQ ist 1 Stück.
Dem Kunden steht ein Muster zur Verfügung, um die Qualität vor der Großbestellung zu überprüfen.
2) Akzeptieren Sie OEM?
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Die Stärke unseres Unternehmens liegt darin, dass wir den LCD-Monitor so anpassen können, dass er die Anforderungen der Kunden vollständig erfüllt.
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